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芯片制造关键装备离子注入机成功实现全谱系国

文章出处:亚洲游戏 人气:发表时间:2021-03-25 03:32

  人民网北京3月17日电 (赵竹青)据中国电子科技集团17日消息,该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

  离子注入机是芯片制造中的关键装备。据悉,多年来,电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,累计形成核心发明专利413项,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

  电科装备表示,下一步,将瞄准高端,紧跟先进工艺发展,加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。

  人民网北京3月17日电(记者李源)据自然资源部网站消息,为深入贯彻落实党中央、国务院关于加强历史文化遗产保护工作,把文物保护管理纳入国土空间规划编制和实施的指示要求,自然资源部、国家文物局近日联合发布《关于在国土空间规划编制和实施中加强历史文化遗产保护管理的指导意见》(以下简称《意见》)。 《意见》指出,要坚持先规划后建设的原则,实施城市更新和乡村振兴行动,防止大拆大建破坏文物等各类历史文化遗存本体及其环境,严禁违反规划或擅自调整规划在历史文化名城名镇名村相关区域建设高层建筑、大型雕塑等高大构筑物。…

  人民网北京3月17日电(申佳平)据国家发展改革委官网消息,根据近期国际市场油价变化情况,按照现行成品油价格形成机制,自2021年3月17日24时起,国内汽、柴油价格(标准品,下同)每吨分别提高235元和230元。调整后,各省(区、市)和中心城市汽、柴油最高零售价格见附表。…

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